江蘇邳州經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)泰山路西側(cè)坐落著一家并不起眼的企業(yè)——徐州博康信息化學(xué)品有限公司，近段時(shí)間以來(lái)，這個(gè)占地近200畝的小工廠卻成為資本市場(chǎng)追逐的目標(biāo)之一。

　　從8月11日到9月11日，短短一個(gè)月時(shí)間內(nèi)，華為旗下深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)向徐州博康新增投資3億元，成為華為哈勃最大單筆半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈投資；上市公司華懋科技發(fā)布公告，通過(guò)參與設(shè)立的產(chǎn)業(yè)基金東陽(yáng)凱陽(yáng)科技創(chuàng)新發(fā)展合伙企業(yè)（有限合伙）對(duì)徐州博康進(jìn)行投資。

　　科技巨頭和上市公司為何把目光投向江蘇邳州這家企業(yè)？

　　“我們自成立至今，一直專(zhuān)注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)。先后攻克了有效去除光刻膠單體金屬離子和產(chǎn)品純化工藝等多項(xiàng)難題，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在該項(xiàng)技術(shù)上的空白。”徐州博康董事長(zhǎng)傅志偉說(shuō)，資本市場(chǎng)看好徐州博康，既是上市公司對(duì)發(fā)展光刻膠產(chǎn)業(yè)的一種戰(zhàn)略布局，更是對(duì)徐州博康光刻膠領(lǐng)域自主研發(fā)成果的認(rèn)可。

　　找準(zhǔn)技術(shù)突破口

　　走進(jìn)徐州博康產(chǎn)品展廳，一排排裝滿(mǎn)液體的褐色玻璃瓶罐擺放在展臺(tái)上，標(biāo)注著光刻膠單體、樹(shù)脂、光引發(fā)劑等光刻膠組成材料名稱(chēng)，引人注目。

　　“過(guò)去這些光刻膠材料我們高價(jià)買(mǎi)不來(lái)�，F(xiàn)在我們?cè)诠饪棠z材料研發(fā)領(lǐng)域取得突破，很多國(guó)外廠商反過(guò)來(lái)向我們訂購(gòu)產(chǎn)品。”傅志偉端起一瓶單體試劑告訴記者，如果把芯片比作電子信息產(chǎn)業(yè)的皇冠，那光刻技術(shù)就是皇冠上的明珠，而作為芯片研發(fā)的重要材料——光刻膠，一直被發(fā)達(dá)國(guó)家攥在手里，成為制約我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”環(huán)節(jié)之一。

　　“我們把光刻膠單體作為突破口，心無(wú)旁騖專(zhuān)注研發(fā)，腳踏實(shí)地做產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化，成功實(shí)現(xiàn)了光刻膠單體的自主研發(fā)及生產(chǎn)。”傅志偉說(shuō)，企業(yè)當(dāng)時(shí)在沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)、缺少專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才、缺失關(guān)鍵上游原材料的條件下啟動(dòng)研發(fā)及生產(chǎn)，雖然經(jīng)歷曲折坎坷，但橫下一條心就一定能做成。

　　“光刻膠的研發(fā)，關(guān)鍵在于其成分復(fù)雜、工藝技術(shù)難以掌握。”徐州博康信息化學(xué)品有限公司生產(chǎn)總監(jiān)劉司飛參與了公司光刻膠單體量產(chǎn)、樹(shù)脂研發(fā)以及配膠的全鏈條工作，他感慨地說(shuō)，能夠參與其中感覺(jué)很驕傲、很自豪，累并快樂(lè)著。

　　為了讓光刻膠單體材料實(shí)現(xiàn)從實(shí)驗(yàn)室小批量到生產(chǎn)線(xiàn)噸位級(jí)生產(chǎn)并品質(zhì)穩(wěn)定，劉司飛曾和研發(fā)團(tuán)隊(duì)一起立下技術(shù)攻關(guān)軍令狀，半年時(shí)間吃住在公司，沒(méi)日沒(méi)夜地試驗(yàn)，最終實(shí)現(xiàn)了193納米單體產(chǎn)品金屬離子含量由100ppb降到了10ppb，純化提高了10倍，滿(mǎn)足智能手機(jī)芯片等集成電路對(duì)于光刻膠的需求。

　　目前，徐州博康自主研發(fā)了光刻膠重要材料——光刻膠單體，同時(shí)還將國(guó)內(nèi)光刻膠單體由248納米的研發(fā)生產(chǎn)提升到193納米研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化階段；成功研發(fā)G線(xiàn)/I線(xiàn)光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品并形成量產(chǎn)，為國(guó)內(nèi)主流廠商批量供貨。

　　走自主研發(fā)之路

　　“光刻膠在玻璃釜里制造和在流水線(xiàn)上生產(chǎn)有很大區(qū)別，試生產(chǎn)階段要時(shí)刻關(guān)注數(shù)據(jù)變化，確保產(chǎn)品穩(wěn)定性。”在徐州博康新廠大數(shù)據(jù)控制中心，公司產(chǎn)品總監(jiān)邵嚴(yán)亮正帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)針對(duì)一款即將量產(chǎn)的光刻膠進(jìn)行穩(wěn)定性評(píng)估。

　　工欲善其事，必先利其器。今年6月份，徐州博康建成并投產(chǎn)國(guó)內(nèi)最完備的高水平光刻膠研制基地，每年可生產(chǎn)1100噸光刻材料、10000噸電子級(jí)溶劑，產(chǎn)值達(dá)20億元�！靶熘莶┛挡粌H在光刻膠單體生產(chǎn)上實(shí)現(xiàn)了突圍，也在光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈研發(fā)制造及光刻機(jī)的研發(fā)上全面發(fā)力。”邵嚴(yán)亮介紹說(shuō)，目前徐州博康光刻膠單體占全球市場(chǎng)份額5%，儲(chǔ)備了全球80%的技術(shù)，開(kāi)發(fā)出10多個(gè)高端光刻膠系列產(chǎn)品。

　　打破國(guó)外壟斷、實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)離不開(kāi)科技創(chuàng)新的支撐，而提高科技創(chuàng)新支撐能力，人才是關(guān)鍵。

　　“為了給企業(yè)自主研發(fā)提供源源不斷的技術(shù)力量，我們?cè)趪?guó)內(nèi)光刻膠領(lǐng)域廣發(fā)英雄帖，組建了120余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，占公司員工超40%，同時(shí)搭建了3000平方米國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)中心作為技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)�！备抵緜フf(shuō)，通過(guò)不計(jì)其數(shù)的試驗(yàn)，忍耐了無(wú)數(shù)次的失敗、重來(lái)，再失敗、再重來(lái)，公司自主研發(fā)收獲頗豐，已獲批27項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利，正在申請(qǐng)的專(zhuān)利達(dá)41項(xiàng)，并具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

　　布局中高端市場(chǎng)

　　傅志偉說(shuō)，早在2013年，中科院微電子所就與徐州博康展開(kāi)了密切合作，在光刻研發(fā)方面突飛猛進(jìn)，并不斷挑戰(zhàn)一個(gè)又一個(gè)技術(shù)封鎖，最終使得光刻技術(shù)的研發(fā)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)技術(shù)水平。

　　在光刻材料取得重大進(jìn)展的同時(shí)，徐州博康還與中科院微電子所聯(lián)合組建了一支新團(tuán)隊(duì)——江蘇影速，開(kāi)始進(jìn)軍先進(jìn)光刻設(shè)備領(lǐng)域。

　　短短3年時(shí)間，江蘇影速就完成了半導(dǎo)體納米級(jí)制板光刻設(shè)備研發(fā)及PCB激光直接成像設(shè)備研發(fā)兩個(gè)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)，成為我國(guó)唯一能夠制造“半導(dǎo)體納米級(jí)制板光刻設(shè)備”的企業(yè)，產(chǎn)品交付國(guó)內(nèi)研究所、軍工企業(yè)及一線(xiàn)廠商，逐步擠壓進(jìn)口設(shè)備的市場(chǎng)空間，并結(jié)束了我國(guó)半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域“零出口”的歷史。

　　與此同時(shí)，徐州博康收購(gòu)了英國(guó)的光刻機(jī)制造企業(yè)NBL電子束光刻機(jī)公司并落戶(hù)徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，未來(lái)將在園區(qū)內(nèi)主要生產(chǎn)電子束光刻機(jī)、掃描電鏡、高壓電源以及電子束槍、無(wú)磁電機(jī)等高科技產(chǎn)品。

　　目前，徐州博康已經(jīng)發(fā)展為全國(guó)為數(shù)不多的中高端光刻膠材料研發(fā)和規(guī)模化生產(chǎn)企業(yè)，成為全球最快激光直寫(xiě)光刻機(jī)的發(fā)明者和制造商。談到企業(yè)未來(lái)的發(fā)展，傅志偉說(shuō)：“我們要努力掌握和創(chuàng)造屬于我們自己的光刻技術(shù)及產(chǎn)品，改變?nèi)�球光刻產(chǎn)業(yè)格局。”(經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)記者 蔣 波)